11 Aprile 2002,
Universita' di Modena
e Reggio Emilia
Facolta' di
Ingegneria (Sede di Reggio Emilia)
Micro Electro-Mechanical System (MEMS)
Prof. Fabrizio Pirri
Dipartimento di
Fisica e INFM
Politecnico di Torino
Lucidi
in formato Portable Document Format (PDF)
(5.7
Mbytes)